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线数控切割机主要由机床数控系统和高频电源这三部分组成

作者:模温机 来源: 日期:2016/11/7 21:12:42 人气:14 评论:0 标签:
   线数控切割机主要由机床数控系统和高频电源这三部分组成。数控系统由单片机、键盘、变频检测系统构成,具有间隙补偿、直线插补、圆弧插补、断丝自动处理等主要功能。机床由床身、储丝机构、线架、XY工作台、油箱等部件组成。绕在储丝筒上的金属丝经过线架作高速往复运动,加工工件固定在XY工作台上,X、Y两方向的运动各由一台步进电机控制。数控系统每发出一个信号,步进电机就走一步,并通过中间传动机构带动两方向的丝杠旋转,分别使得X、Y工作台进给。
  
  多线切割技术是进行脆硬材料(如硅锭等)切割的一种创新性工艺。它是一种通过金属丝的高速往复运动,把磨料带入半导体加工区域进行研磨,将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。基于高精度高速低耗切割控制关键技术研发的高精度数控多线高速数控等离子切割机,可全面实现对半导体材料及各种硬脆材料的高精度、高速度、低损耗切割,目前已逐渐取代了传统的内圆切割,成为硅片切割加工的主要方式。
  
  在本方案中,采用一台SYSMACNJ机器控制器带7轴伺服控制组成整个控制系统,一台主伺服带动罗拉旋转切割硅块,两台伺服交替用于正反向的收放线控制,一台伺服用于首先端排线(单排线机型),两台伺服控制收放线侧张力并反馈摆杆位置偏差值,一台伺服用于硅块进给,另外有包括温度控制在内的辅助控制。
  
  系列机器控制器是欧姆龙最新推出的新一代机器自动化控制器,它无与伦比的高速性与可靠性并重,集运动、逻辑、视觉控制于一体,拥有直线、圆弧等的插补动作功能和电子齿轮、电子齿轮的同步动作功能,通过电子齿轮FB实现同步以及张力调整,可执行最小500μs的高速运算,实现4至64轴的运动控制。尤其是内置EtherNet/IP与EtherCAT主站,可实现网络的高速控制,SYSMACSTUDIO还有MC功能轴设定功能,使伺服轴设定非常简单。而系统中采用的EtherCAT网络型伺服,其凭借业界最高等级的性能,可帮助用户有效缩短生产节拍时间。
    本文网址:http://cfxjt.com/news/545.html
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